1. Tổng quan Công nghệ & Nguyên lý Hoạt động

• Công nghệ cốt lõi: Sử dụng công nghệ Elip phổ bù xoay (Rotating Compensator Ellipsometry - RCE) đã qua cấp bằng sáng chế, kết hợp cảm biến CCD tốc độ cao.
• Cơ chế đo: Đo đồng thời tất cả các bước sóng trong toàn phổ phổ điện từ. Thu thập hơn 700 bước sóng đồng thời từ vùng tử ngoại (UV) đến cận hồng ngoại (NIR).
• Tốc độ thu thập dữ liệu: Dữ liệu thu thập 20 lần/giây. Thời gian đo điển hình cho toàn phổ dao động từ 0,5 đến 5 giây.

2. Khả năng Đo lường & Đặc tính Vật liệu

• Độ dày màng mỏng (Film Thickness):
• Độ nhạy: Nhỏ hơn 1 lớp đơn nguyên tử (sub-monolayer / sub-nm).
• Dải đo tối đa: Lên tới hàng chục micromet (đối với màng trong suốt).
• Hằng số quang học (Optical Constants):
• Xác định chi tiết chiết suất () và hệ số dập ().
• Áp dụng rộng rãi cho các loại vật liệu: chất điện môi (dielectrics), hữu cơ (organics), bán dẫn (semiconductors) và kim loại mỏng (metals).
• Đặc tính vật liệu gián tiếp: Phân tích độ tinh thể (crystallinity - ví dụ: Germanium), thành phần cấu trúc, độ dẫn điện, tính bất đẳng hướng (anisotropy), độ nhám bề mặt và giao diện.
• Đo lường nâng cao:
• Độ phản xạ () và độ truyền qua () theo nhiều góc và bước sóng.
• Ellipsometry tổng quát cho vật liệu bất đẳng hướng.
• Ma trận Mueller 11 phần tử cho mẫu phức tạp có tính bất đẳng hướng và mất phân cực.
• Đo độ khử phân cực (depolarization) để đánh giá độ không đồng đều độ dày và phản xạ mặt sau.

• 3. Phân loại Cấu hình & Dải bước sóng Spec